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标题
Fluid modelling of capacitively coupled radio-frequency discharges: a review
电容耦合射频放电的流体模拟研究进展
相关领域
玻尔兹曼方程 物理 辐射传输 电子 泊松方程 原子物理学 等离子体 等离子体模型 机械 计算物理学 热力学 核物理学 量子力学
网址
DOI
10.1088/0741-3335/54/12/124012 doi
其它 期刊:Plasma Physics and Controlled Fusion
作者:L. L. Alves; L. Marques
出版日期:2012-11-21
求助人
安好 在 2025-12-23 14:32:56 发布自辽宁,悬赏 10 积分
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