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 Structural Defects of Silicon Epitaxy and Epi/Substrate Interface Related to Improper In-Situ Surface Cleaning at Low Temperatures 与低温下不适当的原位表面清洗有关的硅外延和外延/衬底界面的结构缺陷
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期刊：MRS Proceedings 作者：Tri‐Rung Yew; R. Reif 出版日期：1990-01-01 |
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