| 标题 |
 Oxidizer Engineering of ALD for Efficient Production of ZrO2 Capacitors in DRAM 高效生产DRAM中ZrO2电容器的ALD氧化剂工程
相关领域
电容器
德拉姆
生产（经济）
材料科学
光电子学
电气工程
电子工程
工程类
电压
宏观经济学
经济
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Xinyi Tang; Yuanbiao Li; Songming Miao; Xiaohong Chen; Guangwei Xu; et al 出版日期：2024-01-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
helpmepaper
SYLH
鸣笛
柯一一
从容芮
coolkid
眯眯眼的衬衫
eric888
ED
王治焕
aldehyde
iNk
Grayball
聪慧的凡灵
hjmxb
猪猪hero
HEIKU
彭于彦祖
挖掘机
pcr163
皖公网安备34019202002308
