Lab-based multi-wavelength EUV diffractometry for critical dimension metrology

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标题	Lab-based multi-wavelength EUV diffractometry for critical dimension metrology 用于关键尺寸计量的基于实验室的多波长EUV衍射仪相关领域极紫外光刻计量学临界尺寸维数（图论）波长材料科学光学计算机科学纳米技术光电子学物理数学纯数学
网址	https://doi.org/10.1117/12.3050342
DOI	10.1117/12.3050342 doi
其它	期刊：作者：Brian M. Barnes; A. Chew; Nicholas W. Jenkins; Yunzhe Shao; Martin Y. Sohn; et al 出版日期：2025-04-24
求助人	sliver 在 2025-06-25 20:05:24 发布自北京，悬赏 20 积分
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