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  New dynamic silicon photonic components enabled by MEMS technology 相关领域
绝缘体上的硅
微电子机械系统
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10.1117/12.2297588
doi
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期刊： 作者：Göran Stemme; Pierre Edinger; Marco Colangelo; Joel Björk; Samy Ahmed; et al 出版日期：2018-02-22 |
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