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Design and analysis of a high-resolution micro-optical accelerometer with an electromagnetic driver
高分辨率电磁驱动微光学加速度计的设计与分析
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期刊: 作者:Shan Gao; Zhaoying Zhou; Changkun Feng; Zhuang Huang; Lishuang Feng 出版日期:2021-11-24 |
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