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标题
Study of fine patterning lithography for panel level packaging
用于面板级封装的精细图案化光刻技术研究
相关领域
步进电机 杠杆(统计) 计算机科学 平版印刷术 覆盖 系统工程 工程类 纳米技术 材料科学 人工智能 光电子学 程序设计语言
网址
DOI
10.1117/1.jmm.23.1.011002 doi
其它 期刊:Journal of micro-nanopatterning, materials, and metrology
作者:Hiromi Suda; Douglas Shelton; Kenichiro Mori; Ken-ichiro Shinoda; Yoshio Gotō; et al
出版日期:2024-01-02
求助人
研友_8415kL 在 2024-04-22 18:36:06 发布自广东,悬赏 20 积分
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