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 Enhanced erosion resistance in semiconductor reactive ion etcher focus ring with large grain PVT SiC 大晶粒PVT SiC增强半导体反应离子刻蚀聚焦环的耐蚀性
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化学气相沉积
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期刊：Vacuum 作者：J.-S. Kim; Gyeongsu Cho; Young-Hoon Choi; Ho-Sung Son; Heung Nam Han; et al 出版日期：2024-02-18 |
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