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 Effect of deposition parameters on the optical and structural properties of silicon-hydrogen films deposited by RF magnetron sputtering 沉积参数对射频磁控溅射硅氢薄膜光学和结构性能的影响
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期刊：Silicon 作者：Sutapa Badyakar; G. M. Rao; Sanjana MN; C. Sneha; D Monisha; et al 出版日期：2024-09-16 |
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