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Characteristics of Zinc-Oxide-Sulfide-Mixed Films Deposited by Using Atomic Layer Deposition 相关领域
原子层沉积
硫化锌
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期刊:Journal of the Korean Physical Society 作者:Sunyeol Jeon; Seokhwan Bang; Seungjun Lee; Semyung Kwon; Wooho Jeong; et al 出版日期:2008-12-15 |
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