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 <title>Modeling of dielectric polarization during an electron beam exposure</title> 相关领域
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：S. S. Borisov; Е. А. Грачев; S. I. Zaitsev; N. N. Negulyaev; E. A. Cheremukhin 出版日期：2004-03-01 |
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