Effect of magnetic field strength on deposition rate and energy flux in a dc magnetron sputtering system

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标题	Effect of magnetic field strength on deposition rate and energy flux in a dc magnetron sputtering system
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.3222874
DOI	10.1116/1.3222874 doi
求助人	liuhao 在 2026-08-25 15:34:32 发布自安徽，悬赏 10 积分
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