Research progress on porous low dielectric constant materials

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标题	Research progress on porous low dielectric constant materials
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2021.106320
DOI	10.1016/j.mssp.2021.106320 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Meng Xie; Menglu Li; Quan Sun; Wenjie Fan; Shuang Xia; et al 出版日期：2021-11-20
求助人	丁莞在 2026-08-28 20:16:45 发布自江西，悬赏 10 积分
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