Observation of Micro-Oxygen Precipitates in the Vicinity of the Oxidation-Induced Stacking Fault Ring and Their Effects on Thin Gate Oxide Breakdown

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标题	Observation of Micro-Oxygen Precipitates in the Vicinity of the Oxidation-Induced Stacking Fault Ring and Their Effects on Thin Gate Oxide Breakdown
网址	https://doi.org/10.1143/jjap.40.l1286
DOI	10.1143/jjap.40.l1286 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Hyunsoo Kim; Ki‐Sang Lee; Boyoung Lee; Hak-Do Yoo; Seung-Ho Pyi; et al 出版日期：2001-12-01
求助人	lgh 在 2026-09-20 15:48:51 发布自陕西，悬赏 10 积分
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