Spatial light modulator-based maskless laser lithography using Fourier filtering and focal shift

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标题	Spatial light modulator-based maskless laser lithography using Fourier filtering and focal shift 相关领域空间光调制器无光罩微影光学平版印刷术光学（聚焦）基点空间滤波器材料科学激光器傅里叶变换计算机科学物理电子束光刻纳米技术抵抗量子力学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6463/aca2b8
DOI	10.1088/1361-6463/aca2b8 doi
其它	期刊：Journal of Physics D Applied Physics 作者：Andreas Ulm; Mirza Tareq Ahmed; Robert Schmitt 出版日期：2022-11-15
求助人	傲娇石头在 2026-01-05 08:59:22 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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