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Influence of a reverse positive HiPIMS pulse on the microstructure and mechanical properties of the TiAlN coatings 反向正HiPIMS脉冲对TiAlN涂层组织和力学性能的影响
相关领域
微观结构
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
冶金
脉搏(音乐)
纳米技术
薄膜
光学
溅射
溅射沉积
物理
探测器
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期刊:Vacuum 作者:Qun Cai; Xuebing Bai; Yuqiao Zeng; Xuhai Zhang 出版日期:2025-01-23 |
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