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 Passivation quality and contact resistance of tunnel nitride passivated contacts with various silicon nitride compositions 不同氮化硅成分隧道氮化物钝化触点的钝化质量和接触电阻
相关领域
钝化
氮化硅
材料科学
氮化物
接触电阻
光电子学
硅
纳米技术
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Y. Ito; Huynh Thi Cam Tu; Keisuke Ohdaira 出版日期：2025-06-05 |
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