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Structural investigation of high‐transmittance aluminum oxynitride films deposited by ion beam sputtering
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DOI
10.1002/sia.3700 doi
其它 期刊:Surface and Interface Analysis
作者:Paul W. Wang; Jin‐Cherng Hsu; Yung‐Hsin Lin; Huang‐Lu Chen
出版日期:2010-10-20
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