Structural investigation of high‐transmittance aluminum oxynitride films deposited by ion beam sputtering

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标题	Structural investigation of high‐transmittance aluminum oxynitride films deposited by ion beam sputtering
网址	https://analyticalsciencejournals.onlinelibrary.wiley.com/do...
DOI	10.1002/sia.3700 doi
其它	期刊：Surface and Interface Analysis 作者：Paul W. Wang; Jin‐Cherng Hsu; Yung‐Hsin Lin; Huang‐Lu Chen 出版日期：2010-10-20
求助人	下课闹闹在 2026-01-29 20:43:15 发布自山东，悬赏 10 积分
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