Precision picosecond laser-assisted dicing of InGaN LED epitaxial wafers on sapphire substrate

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标题	Precision picosecond laser-assisted dicing of InGaN LED epitaxial wafers on sapphire substrate
网址	https://doi.org/10.1016/j.mtcomm.2025.113416
DOI	10.1016/j.mtcomm.2025.113416 doi
其它	期刊：Materials Today Communications 作者：Xiaohong Zhang; Weihao Chen; Dongdong Wen; Jie Jiang; Zhaoyao Shi; et al 出版日期：2025
求助人	DayLight 在 2026-01-21 16:14:40 发布自湖南，悬赏 10 积分
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