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 Supramolecular surface modification of ceria nanoparticles for enhanced chemical mechanical planarization performance in shallow trench isolation 相关领域
化学机械平面化
浅沟隔离
沟槽
表面改性
材料科学
超分子化学
纳米技术
分离（微生物学）
纳米颗粒
化学工程
化学
分子
图层（电子）
有机化学
工程类
微生物学
生物
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期刊：Dalton Transactions 作者：Haining Zhang; Chenyan Zhao; Xueli Sun; Caiyan Xin; Fangwei Lu; et al 出版日期：2025-01-01 |
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