Factors influencing ion energy distributions in pulsed inductively coupled argon plasmas

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标题	Factors influencing ion energy distributions in pulsed inductively coupled argon plasmas
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6463/ab8b08
DOI	10.1088/1361-6463/ab8b08 doi
其它	期刊：Journal of Physics D: Applied Physics 作者：Zhiying Chen; Roberto C Longo; Michael Hummel; Megan Carruth; Joel Blakeney; et al 出版日期：2020
求助人	byyyy 在 2026-05-18 21:52:27 发布自陕西，悬赏 10 积分
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