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 Polyhedral Oligomeric Silsesquioxane Containing Copolymers for Negative‐Type Photoresists 相关领域
光致聚合物
共聚物
倍半硅氧烷
甲基丙烯酸缩水甘油酯
材料科学
甲基丙烯酸酯
高分子化学
倍半硅氧烷氢
光刻胶
硅氧烷
氢键
抵抗
光化学
聚合
聚合物
化学
分子
有机化学
纳米技术
复合材料
电子束光刻
图层（电子）
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期刊：Macromolecular Rapid Communications 作者：Ho‐May Lin; Shi‐Yin Wu; Pei‐Yuan Huang; Chih‐Feng Huang; Shiao‐Wei Kuo; et al 出版日期：2006-09-11 |
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