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Interface characteristics of β-Ga2O3/Al2O3/Pt capacitors after postmetallization annealing 相关领域
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Masafumi Hirose; Toshihide Nabatame; Yoshihiro Irokawa; Erika Maeda; Akihiko Ohi; et al 出版日期:2020-12-02 |
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