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 Modeling of material removal rate considering the chemical mechanical effects of lubricant, oxidant, and abrasive particles for aluminum chemical mechanical polishing at low pressure 相关领域
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期刊：Wear 作者：Guang Xia; Zirui Wang; Qingyu Yao; Ping Sun; Huaijun Guan; et al 出版日期：2023-06-19 |
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