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专利、报告等 一种二硒化锡薄膜的制备方法 |
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专利类型:发明专利 申请/专利号:CN201810175981.1 申请日期:2018-03-02 公开/公告号:CN110218970B (关联公开/公告号: CN110218970A ) 公开/公告日:2022-07-12 主分类号:C23C14/06(2006.01)(通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆) 分类号:C23C14/06(2006.01) |
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(2025-6-4)