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标题
Development of 150-mm 4H-SiC Substrates using a High-temperature Chemical Vapor Deposition Method
高温化学气相沉积法制备150mm 4H-SiC衬底
相关领域
化学气相沉积 材料科学 沉积(地质) 环境科学 纳米技术 地质学 沉积物 古生物学
网址
AI链接 atlas.jp
DOI
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其它 期刊:ICSCRM2019 Organizing Committee
作者:Takeshi Okamoto
出版日期:2019-09-03
求助人
二十八 在 2024-05-09 15:51:27 发布自云南,悬赏 10 积分
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