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Development of 150-mm 4H-SiC Substrates using a High-temperature Chemical Vapor Deposition Method

化学气相沉积材料科学沉积（地质）环境科学纳米技术地质学古生物学沉积物

作者

Takeshi Okamoto

出处

期刊：ICSCRM2019 Organizing Committee 日期：2019-09-03

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