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Effect of asynchronous pulsing parameters on the structure and properties of CrAlN films deposited by pulsed closed field unbalanced magnetron sputtering (P-CFUBMS)
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2007.06.068
DOI
10.1016/j.surfcoat.2007.06.068 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：Jianliang Lin; John J. Moore; Brajendra Mishra; Malki Pinkas; William D. Sproul; et al
出版日期：2008-01-01
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