| 标题 |
Femtosecond laser burst mode processing for modified layer fabrication in 4H-SiC wafers |
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| DOI |
10.1117/12.3074400
doi
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| 其它 |
期刊: 作者:Chun-Wei Wang; Wenjun Wang; Aifei Pan; Mei Xuesong; Chun-Wei Wang; et al 出版日期:2025-11-19 |
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(2025-6-4)