Self-aligned quadruple patterning to meet requirements for fins with high density

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标题	Self-aligned quadruple patterning to meet requirements for fins with high density
网址	http://dx.doi.org/10.1117/2.1201604.006378
DOI	10.1117/2.1201604.006378 doi
其它	期刊：SPIE Newsroom 作者：Efraín Altamirano-Sánchez; Zheng Tao; Anil Gunay-Demirkol; Gian Lorusso; Toby Hopf; et al 出版日期：2016-05-14
求助人	自由人在 2026-10-20 18:09:12 发布自湖南，悬赏 20 积分
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