发布文献求助
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整的填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！
求助中
  • 文献求助详情
标题
ML for Computational Lithography: Practical Recipes
用于计算光刻的ML：实用配方
相关领域
平版印刷术 计算机科学 计算光刻 材料科学 纳米技术 多重图案 抵抗 光电子学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1145/3658617.3703145
DOI
10.1145/3658617.3703145 doi
其它 期刊：Proceedings of the 28th Asia and South Pacific Design Automation Conference
作者：Youngsoo Shin
出版日期：2025-01-20
求助人
jun 在 2025-06-05 13:22:22 发布自安徽，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. What is double patterning lithography and its impact on nanometer design?
  2. Anasysis of the Key Parameters in Lithography Process
  3. Comparison study of mask error effects for various mask-making processes
  4. Key technology of mask making for 50 nm X-ray lithography
  5. Next Generation Lithography and Equipment
  6. PMJ 2002 Panel Discussion Review: Lithography Strategy from 90 to 65 nm Nodes: ArF, F 2 , or EPL?
  7. PMJ01 panel discussion review: issues on mask technology for 100-nm lithography
  8. Distributed optical proximity correction with deep-learning lithographic model for i-line photolitho...
  9. Lithography for High Energy Technology in Microelectronics
  10. Optical Lithography Techniques for 0.25 μm and Below
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    13:22:25 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    13:22:22 科研通AI机器人（英国 伦敦）收到请求，开始寻找文献
    13:22:22 已向机器人发送请求

  • 1天前

    jun jun Lv714 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
环游世界完成签到 ，获得积分10
1秒前
青炀的应助被paul采纳，获得10
5秒前
11秒前
在水一方的应助被Alusia采纳，获得10
12秒前
12秒前
港港完成签到 ，获得积分10
14秒前
17秒前
18秒前
高山七石完成签到，获得积分10
19秒前
花样年华发布了新的文献求助30
21秒前
微某某完成签到 ，获得积分10
21秒前
儒雅涵易完成签到 ，获得积分10
22秒前
高山七石发布了新的文献求助10
23秒前
精灵夜雨发布了新的文献求助10
23秒前
25秒前
屈小原发布了新的文献求助10
26秒前
27秒前
27秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
28秒前
冯老三完成签到 ，获得积分10
28秒前
Hello的应助被卡比喵喵采纳，获得30
29秒前
WSGQT完成签到 ，获得积分10
30秒前
Lucas的应助被liupipi采纳，获得10
31秒前
尔尔发布了新的文献求助10
32秒前
小虫发布了新的文献求助10
33秒前
我鬼混回来了完成签到 ，获得积分10
33秒前
33秒前
榨菜发布了新的文献求助50
34秒前
34秒前
35秒前
37秒前
37秒前
多睡会儿完成签到 ，获得积分10
38秒前
哭泣雅绿发布了新的文献求助10
38秒前
qingshan完成签到，获得积分10
41秒前
De_Frank123发布了新的文献求助30
42秒前
cctv18的应助被鱼鳞飞飞采纳，获得30
49秒前
50秒前
核桃的应助被Carter采纳，获得10
50秒前
屈小原完成签到，获得积分10
51秒前
高分求助中
The Oxford Encyclopedia of the History of Modern Psychology 2000
Chinesen in Europa – Europäer in China: Journalisten, Spione, Studenten 1200
Deutsche in China 1920-1950 1200
Applied Survey Data Analysis (第三版, 2025) 850
Mineral Deposits of Africa (1907-2023): Foundation for Future Exploration 800
 Introduction to Comparative Public Administration Administrative Systems and Reforms in Europe, Third Edition 3rd edition 590
Learning to Listen, Listening to Learn 570
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3881405
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3423858
关于积分的说明 10736209
捐赠科研通 3148707
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1737427
邀请新用户注册赠送积分活动 838811
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 784107
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通