Parametric and Theoretical Study of Hole Quality in Conventional Micro-machining and Rotary Ultrasonic Micro-machining of Silicon

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标题	Parametric and Theoretical Study of Hole Quality in Conventional Micro-machining and Rotary Ultrasonic Micro-machining of Silicon 硅常规微加工和旋转超声微加工中孔质量的参数与理论研究相关领域机械加工超声波加工参数统计超声波传感器机械工程质量（理念）声学硅材料科学工程类冶金物理数学量子力学统计
网址	https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2025.01.008
DOI	10.1016/j.precisioneng.2025.01.008 doi
其它	期刊：Precision Engineering 作者：Yun-Ze Li; Zhijian Pei; Weilong Cong 出版日期：2025-01-01
求助人	lyzwsw 在 2025-03-09 11:42:42 发布自天津，悬赏 10 积分
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