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 Simulation of Multilayer Defects in Extreme Ultraviolet Masks 极紫外掩模中多层缺陷的模拟
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：M. Ito; Taro Ogawa; Katsura Otaki; Iwao Nishiyama; Shinji Okazaki; et al 出版日期：2001-04-01 |
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