Optical properties of plasmonic titanium nitride thin films from ultraviolet to mid-infrared wavelengths deposited by pulsed-DC sputtering, thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition

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标题	Optical properties of plasmonic titanium nitride thin films from ultraviolet to mid-infrared wavelengths deposited by pulsed-DC sputtering, thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092534672...
DOI	10.1016/j.optmat.2023.114237 doi
其它	期刊：Optical Materials 作者：Leonid Yu. Beliaev; Evgeniy Shkondin; Andrei V. Lavrinenko; Osamu Takayama 出版日期：2023-08-22
求助人	弯弯月亮在 2026-03-02 17:18:39 发布自孟加拉，悬赏 10 积分
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