Planar Magnetron Sputtering System with Electron Injection and Reflecting Electrode

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标题	Planar Magnetron Sputtering System with Electron Injection and Reflecting Electrode 相关领域材料科学托尔阴极氩腔磁控管电极辉光放电锥面等离子体铜溅射沉积高功率脉冲磁控溅射原子物理学溅射电子平面的薄膜复合材料化学物理纳米技术冶金物理化学计算机图形学（图像）计算机科学热力学量子力学
网址	http://dx.doi.org/10.1134/s1063780x23600445
DOI	10.1134/s1063780x23600445 doi
其它	期刊：Plasma Physics Reports 作者：M. V. Shandrikov; A. A. Cherkasov 出版日期：2023-06-01
求助人	英姑在 2026-01-06 12:52:15 发布自江西，悬赏 10 积分
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