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标题
Solid-state Sensor, Actuator and Microsystems Workshop
固态传感器、致动器和微系统车间
相关领域
微系统 执行机构 固态 控制工程 国家(计算机科学) 计算机科学 系统工程 工程类 人工智能 纳米技术 材料科学 工程物理 程序设计语言
网址
DOI
10.1109/jmems.2011.2169171 doi
其它 期刊:Journal of Microelectromechanical Systems
作者:
出版日期:2011-10-01
求助人
shining 在 2025-12-28 19:54:31 发布自湖北,悬赏 10 积分
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