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 Surface‐treatment effects of a sapphire substrate by He+‐, Ar+‐, and Xe+‐ion implantations for GaN epitaxial layers He+、Ar+和Xe+离子注入对GaN外延层蓝宝石衬底的表面处理效应
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期刊：Journal of the Society for Information Display 作者：Junggeun Jhin; Jong Hyeob Baek; Dongjin Byun 出版日期：2008-03-26 |
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