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标题
Development of a Driving and Control System of Large Stroke 3-D Air-Floating Motion Stage With Submicrometer-Scale Positioning Accuracy
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网址
https://doi.org/10.1109/jsen.2023.3342041
DOI
10.1109/jsen.2023.3342041 doi
其它 期刊：IEEE Sensors Journal
作者：Fan Zhang; Qiangxian Huang; Rongjun Cheng; Liansheng Zhang; Hongli Li; et al
出版日期：2023-12-18
求助人
李智昊 在 2025-11-27 11:13:08 发布自中国，悬赏 10 积分
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