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Facile fabrication of functional 3D micro-nano architectures with focused ion beam implantation and selective chemical etching
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材料科学 纳米光刻 制作 蚀刻(微加工) 纳米技术 纳米结构 聚焦离子束 黑硅 纳米线 离子注入 离子束 光电子学 纳米网 等离子体刻蚀 各向同性腐蚀 纳米- 离子 石墨烯 化学 图层(电子) 有机化学 复合材料 替代医学 病理 医学
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2020.146644 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Vivek Garg; Rakesh G. Mote; Jing Fu
出版日期:2020-05-19
求助人
Ff 在 2025-10-09 19:32:42 发布自辽宁,悬赏 10 积分
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