ZrO2纳米颗粒掺杂的高折射率负性光刻胶

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标题	专利、报告等 ZrO2纳米颗粒掺杂的高折射率负性光刻胶
网址	求助人暂未提供
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其它	本发明利用合成粒径可控的ZrO2纳米粒子，再经过硅烷偶联剂改性在表面形成丙烯酸官能团，在不损伤紫外曝光性能的同时大大增加和丙烯酸酯类光刻胶的相容性，实现高折射光刻胶的理想性能。查询专利
求助人	袜袜袜不是吧在 2025-08-08 09:28:56 发布自浙江，悬赏 10 积分
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