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 Development of Laser-Micromachined 4H-SiC MEMS Piezoresistive Pressure Sensors for Corrosive Environments 腐蚀环境用激光微加工4H-SiC MEMS压阻压力传感器的研制
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Lukang Wang; You Zhao; Yang Yu; Xing Pang; Le Hao; et al 出版日期：2022-04-01 |
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