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 Carbon effect on the survival of vacancies in Czochralski silicon during rapid thermal anneal 碳对直拉硅单晶快速退火过程中空位存活的影响
相关领域
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材料科学
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Jian Zhao; Peng Dong; Kang Yuan; Xiaodong Qiu; Junwei Zhou; et al 出版日期：2017-07-26 |
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