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标题
Enhanced extreme ultraviolet lighting using carbon nanotube-based cold cathode electron beam irradiation
基于碳纳米管的冷阴极电子束辐照增强极紫外照明
相关领域
极紫外光刻 极端紫外线 辐照 材料科学 阴极 光学 阴极射线 碳纳米管 光电子学 紫外线 电子 激光器 纳米技术 化学 物理 核物理学 物理化学
网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/acb064
DOI
10.35848/1347-4065/acb064 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Sung Tae Yoo; Kyu Chang Park
出版日期：2023-01-05
求助人
深情安青 在 2025-08-17 06:14:40 发布，悬赏 10 积分
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