Improved performance of MoS2 FET by in situ NH3 doping in ALD Al2O3 dielectric

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标题	Improved performance of MoS2 FET by in situ NH3 doping in ALD Al2O3 dielectric 相关领域材料科学兴奋剂电介质原子层沉积光电子学氧气场效应晶体管分析化学（期刊）栅极电介质晶体管图层（电子）纳米技术电压电气工程化学有机化学工程类色谱法
网址	https://doi.org/10.1088/1674-1056/ac3bab
DOI	10.1088/1674-1056/ac3bab doi
其它	期刊：Chinese Physics B 作者：Xiaoting Sun; Yadong Zhang; Kunpeng Jia; Guoliang Tian; Jiahan Yu; et al 出版日期：2021-11-20
求助人	毛聋聋在 2025-10-17 17:55:14 发布自海南，悬赏 10 积分
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