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标题
Design and Development of Developable BARCs (DBARCs) for Advanced Lithographic Applications
用于先进光刻应用的可显影BARCs（DBARCs）的设计和开发
相关领域
平版印刷术 材料科学 纳米技术 浸没式光刻 抵抗 光电子学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.2494/photopolymer.23.721
DOI
10.2494/photopolymer.23.721 doi
其它 期刊：Journal of Photopolymer Science and Technology
作者：James F. Cameron; John P. Amara; Jin Wuk Sung; David Valeri; Adam Ware; et al
出版日期：2010-01-01
求助人
phj531 在 2025-11-04 09:22:38 发布自上海，悬赏 10 积分
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