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 Design and Development of Developable BARCs (DBARCs) for Advanced Lithographic Applications 用于先进光刻应用的可显影BARCs（DBARCs）的设计和开发
相关领域
平版印刷术
材料科学
纳米技术
浸没式光刻
抵抗
光电子学
图层（电子）
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期刊：Journal of Photopolymer Science and Technology 作者：James F. Cameron; John P. Amara; Jin Wuk Sung; David Valeri; Adam Ware; et al 出版日期：2010-01-01 |
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