Application of Al 2O 3 ZnO, and TiO 2 ALD thin films as antireflection coating in the silicon solar cells

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标题	Application of Al 2O 3 ZnO, and TiO 2 ALD thin films as antireflection coating in the silicon solar cells Al2O3ZnO和TiO2ALD薄膜作为减反射涂层在硅太阳电池中的应用相关领域材料科学硅涂层原子层沉积薄膜光电子学太阳能电池纳米技术
网址	https://doi.org/10.24425/opelre.2023.148223 AI链接 pan.pldoi.org
DOI	10.24425/opelre.2023.148223 doi
其它	期刊：Opto-Electronics Review 作者：M. Szindler; M. Szindler 出版日期：2023-10-28
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