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标题
Low-Temperature Growth of ZnO Thin Films by Atomic Layer Deposition
原子层沉积法低温生长ZnO薄膜
相关领域
原子层沉积 材料科学 图层（电子） 薄膜 原子层外延 沉积（地质） 光电子学 逐层 纳米技术 化学工程 沉积物 生物 工程类 古生物学
网址
https://doi.org/10.3938/jkps.50.1716
DOI
10.3938/jkps.50.1716 doi
其它 期刊：Journal of the Korean Physical Society
作者：E. H. Kim; D. H. Lee; Bo-Hyun Chung; H. S. Kim; Y. Kim; et al
出版日期：2007-06-15
求助人
wying 在 2025-10-16 08:57:27 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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