发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Direct femtosecond laser lithography for photoresist patterning
用于光刻胶图案化的直接飞秒激光光刻
相关领域
无光罩微影 光刻胶 光掩模 材料科学 平版印刷术 飞秒 激光器 光刻 下一代光刻 光学 光电子学 X射线光刻 极紫外光刻 纳米技术 电子束光刻 抵抗 物理 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/1.3081094
DOI
10.1117/1.3081094 doi
其它 期刊：Optical Engineering
作者：Ik‐Bu Sohn
出版日期：2009-02-01
求助人
xiaosfsd 在 2025-09-15 18:50:57 发布自广东，悬赏 20 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. EUV photolithography: resist progress and challenges
  2. Theoretical study of fabrication of line-and-space patterns with 7 nm quarter-pitch using electron b...
  3. Step and Flash Imprint Lithography
  4. Deep ultraviolet photolithography capability of ZEP520A electron beam resist for mix and match litho...
  5. Ultrathin photoresists for 193-nm lithography
  6. Simulation of optical lithography from distorted photomasks
  7. Feasibility of 50-nm device manufacture by 157-nm optical lithography: an initial assessment
  8. 반도체 공정용 리소그래피 기술의 최근 동향
  9. Step-and-Repeat X-ray/Photo Hybrid Lithography for 0.3 μm Mos Devices
  10. Low-voltage electron-beam lithography linked to photolithography
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 25分钟前

    不想干活 不想干活 Lv121 上传了文件

    待审核 024301_1.pdf (718.92 KB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 1小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    18:51:02 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    18:50:59 科研通AI机器人（日本 东京）收到请求，开始寻找文献
    18:50:58 已向机器人发送请求

  • 1小时前

    xiaosfsd xiaosfsd Lv11 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
1秒前
善良豌豆完成签到，获得积分10
2秒前
香蕉觅云的应助被子和李采纳，获得10
3秒前
3秒前
3秒前
充电宝的应助被失眠烨华采纳，获得10
4秒前
Lucas的应助被王叮叮采纳，获得10
6秒前
yc发布了新的文献求助10
6秒前
所所的应助被111采纳，获得10
6秒前
cc完成签到，获得积分10
6秒前
7秒前
852的应助被又晴采纳，获得10
7秒前
浮游的应助被忐忑的新蕾采纳，获得10
7秒前
灵活的胖子wxp完成签到，获得积分10
8秒前
JIANG发布了新的文献求助10
8秒前
言小完成签到，获得积分10
8秒前
10秒前
想逃离发布了新的文献求助10
10秒前
xiaocui完成签到，获得积分10
11秒前
12秒前
香雪若梅发布了新的文献求助10
12秒前
ccy完成签到，获得积分10
13秒前
13秒前
尹晓蓝发布了新的文献求助10
14秒前
14秒前
14秒前
15秒前
xyz完成签到，获得积分10
15秒前
15秒前
ddjjhh发布了新的文献求助10
17秒前
失眠烨华发布了新的文献求助10
18秒前
18秒前
浮游的应助被秋山落叶采纳，获得10
18秒前
19秒前
111发布了新的文献求助10
19秒前
123321发布了新的文献求助10
21秒前
21秒前
21秒前
陈琳发布了新的文献求助10
22秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Manipulating the Mouse Embryo: A Laboratory Manual, Fourth Edition 1000
Determination of the boron concentration in diamond using optical spectroscopy 600
INQUIRY-BASED PEDAGOGY TO SUPPORT STEM LEARNING AND 21ST CENTURY SKILLS: PREPARING NEW TEACHERS TO IMPLEMENT PROJECT AND PROBLEM-BASED LEARNING 500
肥厚型心肌病新致病基因突变的筛选验证和功能研究 500
Founding Fathers The Shaping of America 500
Distinct Aggregation Behaviors and Rheological Responses of Two Terminally Functionalized Polyisoprenes with Different Quadruple Hydrogen Bonding Motifs 460
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 催化作用 遗传学 冶金 电极 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4563889
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3988219
关于积分的说明 12349296
捐赠科研通 3659250
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2016426
邀请新用户注册赠送积分活动 1050821
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 938776
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通