Multiaxis and multibeam technology for high throughput maskless E-beam lithography

已完结

文献求助详情

标题	Multiaxis and multibeam technology for high throughput maskless E-beam lithography
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.4767275
DOI	10.1116/1.4767275 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena 作者：Hiroshi Yasuda; Takeshi Haraguchi; Hidebumi Yabara; Kouji Takahata; Hidekazu Murata; et al 出版日期：2012-11-01
求助人	心灵美的翠在 2026-08-16 23:10:38 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 科研通AI6.4上传了应助文件

1秒前; wsxxdg完成签到，获得积分10

1秒前; 搜集达人上传了应助文件

3秒前; 繁星完成签到，获得积分10

4秒前; Lexi关闭了Lexi的文献求助

5秒前; 深情安青上传了应助文件

5秒前; 田様的应助被1230采纳，获得10

6秒前; 隐形曼青的应助被1230采纳，获得10

6秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

6秒前; 铠甲勇士发布了新的文献求助10

8秒前; lchen发布了新的文献求助10

9秒前; xcltzh2517完成签到，获得积分10

10秒前; 小景诺发布了新的文献求助10

11秒前; light关注了科研通微信公众号

11秒前; 今天又学明白了发布了新的文献求助10

11秒前; 激动的黎昕发布了新的文献求助10

12秒前; 科研通AI6.4的应助被雪王雪顶咖啡采纳，获得10

12秒前; kevin发布了新的文献求助10

12秒前; 英俊的铭上传了应助文件

12秒前; Orange上传了应助文件

13秒前; 呼呼不爱噜噜上传了应助文件

14秒前; shaperly完成签到，获得积分10

15秒前; 大个上传了应助文件

17秒前; 情怀的应助被天狮星上的人采纳，获得10

17秒前; dex发布了新的文献求助10

17秒前; 完美世界上传了应助文件

17秒前; 费德勒看看咯发布了新的文献求助10

18秒前; 结实伯云完成签到，获得积分10

19秒前; 伴青灯完成签到，获得积分10

19秒前; 彭于晏上传了应助文件

20秒前; 半青一江完成签到，获得积分10

21秒前; 小景诺完成签到，获得积分10

22秒前; 游前途发布了新的文献求助10

23秒前; 丘比特上传了应助文件

23秒前; 李华完成签到，获得积分10

23秒前; 科研通AI6.3上传了应助文件

24秒前; little_caicai发布了新的文献求助10

24秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

24秒前; 星驰发布了新的文献求助10

25秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

25秒前