Magnetized, radiofrequency-driven hollow cathode chemical-vapor deposition of ultrathick hydrogenated amorphous carbon

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标题	Magnetized, radiofrequency-driven hollow cathode chemical-vapor deposition of ultrathick hydrogenated amorphous carbon
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004905
DOI	10.1116/6.0004905 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：John S. Miller; L. B. Bayu Aji; S. O. Kucheyev; S. Falabella 出版日期：2025-11-24
求助人	鸡公煲品鉴家在 2026-08-18 14:00:24 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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